ここでは、ダイヤフラム型ドライ真空ポンプを扱う「アルバック」について紹介します。アルバックの特徴をまとめていますので、ぜひチェックしてみてください。

アルバックは、1952年に設立して以来、真空装置や周辺機器、真空コンポーネントなどの開発・製造・販売や輸出入を行っている会社です。真空技術全般に関する知識や技術が豊富であり、研究指導や技術顧問も行っています。
扱っている真空ポンプは複数あり、ダイヤフラム型ではドライ真空ポンプを種類豊富にラインアップ。スタンダードタイプはもちろん、減圧・加圧両用タイプ、高真空タイプ、ケミカルタイプなどを用意しています。
アルバックが扱う「ダイヤフラム型ドライ真空ポンプ」は、油や液体を使用しない機械式であるのが特徴。「油蒸気などによる汚染がない、クリーンな雰囲気が必要」といったニーズに応えることが可能です。
ダイヤフラム型ドライ真空ポンプが利用されているのは、たとえば半導体製造産業やエレクトロニクス産業など。ICのウェハ吸着装置・真空チャック・フィルム吸着・自動機械・包装機械・光学機械・真空ピンセット・医療用機械・印刷機械といったさまざまな用途で広く活用されています。
アルバックではドライ真空タイプのダイヤフラムポンプを扱っているため、製造工程でクリーンな雰囲気を求められるケースにおすすめのポンプメーカーです。半導体製造産業やエレクトロニクス産業関連の企業に適しているでしょう。

DA-60D は無給油 2 段式ダイヤフラム真空ポンプで、到達圧 6.7 kPa・排気速度 60 L/min を実現します。PTFE コーティングダイヤフラムとアルミヘッドにより耐薬品性を高め、騒音 51 dB と静音設計。分析装置・真空乾燥機のクリーン排気源として最適です。
| 接続口径 | Rc1/4 |
|---|---|
| 最大吐出流量 | 60 L/min(排気速度) |
| 最高吐出圧力 | 記載なし |
| 到達真空 | 6.7 kPa |
| ケーシング材質 | アルミ |
| 主要ダイアフラム材質 | PTFE |

DAP-6D は DA シリーズ最小クラスの 2 段式ダイヤフラムドライポンプで、排気速度 6 L/min(50 Hz)/7 L/min(60 Hz)ながら到達圧 6.65 kPa を確保します。質量 1.9 kg と軽量コンパクトで装置組込みに最適。自動復帰型サーマルプロテクタを標準装備し、無給油・シンプル構造でメンテナンスも容易です。
| 接続口径 | Rc1/8 |
|---|---|
| 最大吐出流量 | 6 L/min(50 Hz)/7 L/min(60 Hz) |
| 到達真空 | 6.65 kPa |
| 最高吐出圧力 | 記載なし |
| ケーシング材質 | アルミ |
| 主要ダイアフラム材質 | PTFE |
公式HPに事例の記載がありませんでした。

スタンダードタイプ(1段型)は、アルバックが展開するドライ真空ポンプの中でも標準的な構成を採用したシリーズです。特別な機能を追加せず、扱いやすさやメンテナンス性を重視した仕様となっています。
シリーズ内には、小型モデルから比較的大流量のモデルまで幅広いラインナップが用意されており、DCモータ搭載タイプや再起動性に配慮した仕様なども展開。ポンプ室を並列につないだ1段排気方式を採用しており、比較的大きな排気速度を確保しやすい点が特徴です。真空到達度よりも排気量を重視した構成で、一般的な吸着搬送や分析装置、簡易真空用途などで使用されています。
接ガス部には油を使用しないドライ構造を採用し、油による汚染を避けたい用途にも対応可能。大気圧状態から起動できる構造や、サーマルプロテクターによる安全設計、シンプルな内部構造による保守性にも配慮されています。

スタンダードタイプ(2段型)は、より高い真空度に対応するため、ポンプ室を直列接続した2段排気方式を採用したシリーズです。1段型と同様に、接ガス部に油を使用しないドライ構造となっており、シンプルな構成と扱いやすさを重視しています。一方で、2段排気方式によって圧縮比を高めているため、1段型より低い圧力域まで到達しやすい点が特徴です。
一般的に、1段型は排気速度を重視する用途に向いているのに対し、2段型はより高い真空性能が求められる用途で使用されます。分析機器や真空保持用途、小型真空装置などで採用されるケースがあります。
また、シリーズ内にはDCモータ搭載モデルや、真空状態からの再起動を考慮したアンローダーバルブ・バランスポート搭載モデルなども用意されています。用途や設備条件に応じて選択できるラインナップ構成となっています。

ケミカルタイプは、有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応できるよう、耐食性を高めたドライ真空ポンプです。接ガス部には耐薬品性に配慮した部材が採用されており、化学系用途や研究設備などで使用されています。
ダイヤフラムの往復運動によって排気を行う構造で、油を使用しないドライ方式を採。油による汚染を避けたい用途にも対応しやすく、比較的シンプルな構造のためメンテナンス性にも配慮されています。
また、大気圧から作動できる構造となっており、一般的な真空引き用途にも使用可能。安全面では、サーマルプロテクターを搭載したモデルが展開されています。ラインナップには、コンパクトタイプから比較的大きな排気量に対応したモデルまで用意されており、用途や必要排気量に応じて選定できます。

高真空タイプは、より低い到達圧力に対応するため、ポンプ室を直列接続した多段排気構造を採用したドライ真空ポンプです。ポンプ室を直列に接続した3段排気方式を採用しており、スタンダードタイプより高い真空度を得やすい構造となっています。
接ガス部には油を使用しないドライ構造を採用しているため、真空環境への油混入を抑えたい用途にも対応可能。比較的高い真空性能が求められる分析装置や研究設備などで使用されています。
大気圧からの起動に対応しているほか、シンプルな内部構造によって保守性にも配慮されています。ラインアップには、小型モデルから比較的大流量のモデルまで複数の製品が用意されています。

高真空・ケミカルタイプは、耐食性と高真空性能の両立を目的としたドライ真空ポンプです。腐食性ガスや有機溶剤への対応を想定したケミカルタイプをベースに、3段排気方式を採用することで、より高い真空度を得やすい構造となっています。
接ガス部には耐食性に配慮した部材が使用されており、薬品や溶剤を扱う研究設備・分析装置・化学系用途などで使用されています。さらに、ポンプ室を直列に接続することで圧縮比を高め、低い圧力域まで安定して減圧しやすい点が特長です。
油を使用しないドライ構造のため、真空環境への油混入を抑えたい用途にも対応しやすくなっています。ラインナップには、コンパクトタイプから比較的大きな排気能力を持つモデルまで用意されています。

減圧・加圧両用タイプは、真空ポンプとしての減圧用途だけでなく、加圧ポンプとしても使用できるドライ真空ポンプです。配管の接続位置を変更することで、1台で減圧・加圧の両方に対応できます。
接ガス部には油を使用しないドライ構造を採用しており、油による汚染を避けたい用途にも使用可能です。構造は比較的シンプルで、大気圧から起動できるほか、サーマルプロテクターによる安全設計も採用されています。
また、大気圧から作動できる仕様となっているため、一般的な減圧用途やエア供給用途など、幅広い設備で使用可能です。ラインナップには、排気量や用途に応じた複数のモデルが用意されており、研究設備や分析装置、小型機器向け用途などで使用されています。
| 社名 | 株式会社アルバック |
|---|---|
| 所在地 | 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500 |
| 営業時間・定休日 | 公式HPに記載なし |
| 電話番号 | 0467-89-2033 |
| 公式HP | https://www.ulvac.co.jp/index.html |
ULVAC の DA/DAP シリーズは無給油・低振動でクリーンな真空源を提供します。中容量の DA-60D は汎用ラボ装置向け、超小型 DAP-6D は装置内蔵用途に好適で、どちらもサーマルプロテクタ内蔵による安全設計と簡易メンテナンスが特長です。
ダイヤフラムポンプは防爆エリア・半導体製造・医薬・研究など目的ごとに最適機種が異なるため、流量・圧力・材質を比較しながら選定することが重要です。ページ下部の「海外メーカー3製品」の比較も参考に、用途別に最適なダイヤフラムポンプを検討してみてください。
画像引用元:ジャパンマシナリー公式HP
(https://www.jmc.asia/products/wilden/)
画像引用元:ジャパンマシナリー公式HP
(https://www.jmc.asia/products/almatec-futur/)
画像引用元:ジャパンマシナリー公式HP
(https://www.jmc.asia/products/quattroflow/)
ジャパンマシナリー
ジャパンマシナリーはただの販売代理店ではありません。
国際品質規格の認証取得メーカー製品を多数取り扱う商社としての一面だけでなく、製品の受け入れ検査から試験、修理、改造、部品加工といった各種技術サービスまですべて社内で応えられるため、
性能は十分だが実際に自社工場で使えるのか…
破損や故障が起こったとき対応が遅いかも…
というような実運用面の不安・悩みをダイレクトに解決してくれます。
海外製品のアフターサポート体制が不安な方でも、安心して頼れる企業です。