イワキ

引用元：イワキ公式HP
https://www.iwakipumps.jp/products/pneumatic/diaphragm/tc-fluororesin/

TCシリーズ（フッ素樹脂タイプ）は、半導体プロセス向けに設計されたエアー駆動式ダイヤフラムポンプです。主要部品にフッ素樹脂を採用しており、洗浄液やCMPスラリー、高純度薬液の移送に適しています。

大きな特徴は、省エネ性と操作性の高さ。エアー室の構造を見直すことで、従来機種と比べて最大50％のエアー消費削減を実現しました。さらに最大0.7MPa（一部機種は0.85MPa）の高圧吐出に対応しており、供給エアー圧力に比例して吐出圧力を調整できるため、圧力制御が容易です。

駆動源が圧縮エアーのため、防爆対策が不要で安全性が高いのも利点。最大吐出量は11〜150L/minと幅広く、半導体分野のプロセス装置をはじめ、化学薬液を扱う多様な現場で活用されています。

引用元：イワキ公式HP
https://www.iwakipumps.jp/products/pneumatic/diaphragm/tcr501wb-2s/

TCR501WB-2Sは、耐食性に優れたSUS316L製のエアー駆動ダイヤフラムポンプです。最大330L/minの吐出量を誇り、大容量の移送にも対応できるモデルです。用途は二次電池製造、医薬品や化粧品の製造プロセス、食品分野など多岐にわたります。

大きな特徴は「クルリンパ」と呼ばれる独自の回転・分解構造。本体を回転させることで残液を回収でき、分解・洗浄も一人で容易に行えます。高価な薬液やプロセス液を無駄なく扱えるため、コスト削減や効率化にもつながります。

また、クランプ数を減らしたシンプルな設計により、組み立ても簡単。マニホールド部には特殊構造を採用し、液漏れのリスクを低減しています。スラリー粒径8mm以下にも対応できるため、粘度の高い液体や固形物を含む液体も安心して移送可能です。

引用元：イワキ公式HP
https://www.iwakipumps.jp/products/pneumatic/diaphragm/tcr255wb/

TCR255WB-1.5Sは最大吐出量180L/minのエアー駆動ダイヤフラムポンプで、高粘度液や固形物を含む液体の移送に適したモデルです。

接液部にはSCS14（SUS316相当）を使用し、電解研磨仕上げを標準採用。耐食性を確保しつつ、コストパフォーマンスにも優れています。さらに、液だまりのないディスクレス構造のダイヤフラムを採用することで、菌やコンタミの発生を防ぎ、食品や医薬品分野でも安心して使用可能です。

用途としては、二次電池の製造工程、食品・化粧品・製薬分野での原料引き抜き、塗料業界で複数のインクを切り替えて送液する場面などが挙げられます。吸込粘度限界は3Pa·s、押込は8Pa·sまで対応し、スラリーは最大3mm径まで処理可能です。

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https://www.iwakipumps.jp/products/pneumatic/diaphragm/tca501bw/

TCA501BW-FM-Yは、最大吐出量600L/minをの大容量タイプで、固形物やスラリー・スラッジの移送に特化したエアー駆動ダイヤフラムポンプです。特長は、大口径の流路を確保できる「フラップバルブ」を採用した点にあります。これにより、最大30mmの固形物や繊維・堆積物を含む液体も効率よく移送可能。食品加工後の廃液や産業廃棄物処理など、固形分を多く含む液体処理に最適です。

設計面では、上から吸込み、下から吐出する流路を採用することで、ポンプ内に液が滞留しにくくなっています。さらに、フラップバルブ部分だけを簡単に取り外して洗浄・交換ができるため、ポンプ全体を分解する必要がなく、メンテナンスも容易。耐摩耗性に優れたHNBR製のフラップバルブを採用し、耐久性も高めています。

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https://www.iwakipumps.jp/products/liquid-diaphragm/hsr03-15/

HSR-03/06/09/15は、吐出量30〜150mL/minをカバーする小型ポンプシリーズです。最高吐出圧力は0.6MPaと高圧対応で、装置組込み用途に適した設計となっています。外部入力信号（DC1〜5V）による流量可変機能や駆動回路内蔵モータを搭載しており、制御性と省スペース性を両立しています。

本体は小型・軽量で、分析装置や医療機器、理化学機器などの内部レイアウトに柔軟に組み込むことが可能。自吸高さ2mの能力を持ち、扱いやすさにも配慮されています。材質にはGFRPPやFKM、EPDMを使用し、耐薬品性や耐久性も確保されています。

装置の小型化や高性能化を求める現場に適したポンプで、少量かつ精密な送液を必要とする用途に幅広く対応できます。

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https://www.iwakipumps.jp/products/liquid-diaphragm/hsr

HSR-80は、より広い流量レンジに対応したハイパワータイプの小型液体ダイヤフラムポンプです。最大吐出量は1,400mL/min、最高吐出圧力は0.6MPa。回転数を1,000〜3,000min⁻¹で可変でき、400〜1,200mL/minの流量を柔軟にカバーします。

安全面では異常圧力保護機構を搭載可能で、吐出圧力の急上昇によるポンプや配管の破損を防止。稼働時の騒音値も50dB以下と静音性が高く、医療機器や分析機器など静かな環境を求められる現場にも適しています。

材質はGFRPPやPTFE、SUS316などを組み合わせており、耐薬品性や耐久性を確保。コンパクトな設計ながら高圧・高流量に対応でき、各種産業機器への組込み用途に幅広く利用されています。

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https://www.iwakipumps.jp/products/metering/moter/lk/

LKシリーズは、経済性と使いやすさを兼ね備えた直動ダイヤフラム式の定量ポンプです。吐出量は0.02～45L/min（50Hz時）と幅広く、酸やアルカリ、スラリーや強酸など、液質に応じてPVC・PVDF・フッ素樹脂・ステンレスなど7種類の材質仕様から選択可能。たとえば「LK-TCシリーズ」はフッ素樹脂を主要材質に採用しており、強酸移送に特化。耐食性が求められる分野に適しています。

定量精度は±2％FS以内を実現。ストロークと吐出量の直線性も高く、信頼性のある薬液注入が可能です。さらに、接続部はフランジ・ホース・ユニオンの3タイプを標準化し、配管条件に柔軟に対応できます。

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https://www.iwakipumps.jp/products/metering/td/

TDシリーズは、低脈動と高効率を両立した直動ダイヤフラム式ポンプです。2つのポンプ部をひとつのカムで動かす等速度カム方式を採用し、エアチャンバなしでも安定した低脈動送液を実現しました。これにより、配管がシンプルになり、メンテナンスコストも削減できます。

吐出量は0.15〜8.5L/min、最高圧力は1.0MPaまで対応。インバータ制御によりモータ回転数を調整し、従来のストローク可変式よりも広い流量制御範囲を実現しました。標準搭載のIPMモータは高効率で、省エネ性能にも優れています。

また、吐出口・吸込口の方向を自由に選べる豊富な配管接続バリエーションも特長。モータは標準仕様のほか、耐圧防爆モータなども選択可能で、用途や環境に応じた柔軟な対応が可能です。

引用元：イワキ公式HP
https://www.iwakipumps.jp/products/metering/sk/

SKシリーズは、コンパクトで経済的ながら幅広い用途に対応できる直動ダイヤフラムポンプです。吐出量は0.022〜1.32L/minと小流量域をカバーし、装置への組込みからプラント設備まで対応可能。酸・アルカリ・スラリー・強酸・溶剤など、幅広い液体に対応できるよう、PVC・フッ素樹脂・ステンレスの3種類のポンプヘッド材質を用意しています。

定量精度は±2％FS以内と安定しており、ストローク長の調整は大型マイクロメータ式ダイヤルで直感的に操作可能。さらに、ストロークと吐出量の直線性が高いため、正確な薬液注入が求められるプロセスに適しています。

屋外設置にも対応し、省スペース性と使いやすさを兼ね備えたモデルです。

引用元：イワキ公式HP
https://www.iwakipumps.jp/products/metering/ix/

IXシリーズは、イワキが展開する直動ダイヤフラム式定量ポンプの中でも、高精度な制御と幅広いラインアップを特長とするモデル群です。水処理から化学工業、食品・医薬品分野まで、正確な薬液注入を必要とするさまざまな現場に対応できます。

シリーズ全体に共通する特長として、制御モータによる吐出／吸込み速度の可変機能を搭載。定量精度は±1%を実現し、微量注入から大流量まで安定した送液が可能です。また、防水・防塵仕様（IP65）を備え、屋外設置にも対応。フリー電源方式により世界各国で使用でき、UL・CE規格にも適合しています。

引用元：イワキ公式HP
https://www.iwakipumps.jp/products/metering/motor/ax_k/

AX-Kシリーズは、コンパクトなボディの直動式ダイヤフラムポンプです。吐出量は1.1〜22.5L/min（50/60Hz）に対応し、プロセス用途で求められる高精度な定量注入を実現します。

定量精度±1%、直線性±2%、再現性±2%以内といった高い制御性能を備えており、安定した薬液注入が可能。駆動部には定評あるSLクランクとウォームギア減速機を一体化した機構を採用し、連続運転にも耐えられる信頼性を確保しました。

また、計装工事を簡略化できるポジショナ内蔵型サーボ方式や、オイル漏れを防ぐ新機構などを採用。駆動部への雨水侵入を防ぐエアブリーザも搭載し、屋外設置でも安心です。

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https://www.iwakipumps.jp/products/metering/motor/ax_l/

AX-L/AX-Mシリーズは、油圧駆動を採用したプロセス用定量ポンプで、より高圧での薬液注入を可能にしたモデルです。吐出量は0.022〜51.6L/min（50/60Hz）、最高吐出圧力は5.0MPaまで対応でき、高圧条件下での安定した送液に適しています。

定量精度±1%、直線性±2%、再現性±2%以内と高精度。駆動部にはSLクランク機構と独自の油圧システムを組み合わせ、ストローク長を0〜100%まで自在に調整可能です。幅広い流量制御に対応しつつ、長期連続運転にも高い信頼性を発揮します。

また、PVC・SUS316・PTFEなどの材質仕様を選べるため、酸・アルカリ・溶剤など幅広い薬液に対応可能。AX-Kと同様にポジショナ内蔵型サーボ方式やオイル室とブラケットの共用化を取り入れ、計装工事の効率化やメンテナンス性向上を実現しています。

引用元：イワキ公式HP
https://www.iwakipumps.jp/products/metering/motor/pds_105r/

PDSシリーズは、フォトレジスト液や各種機能性液体のディスペンスに特化した高精度ダイヤフラムポンプです。

駆動源には高トルクステッピングモータを採用しており、フィルタの目詰まりや液粘度の変化があっても吐出量の減少がほとんどなく、常に高い精度を維持できるのが特長。吐出精度は±0.3％（F.S.）、分解能0.01mLと、微量での塗布工程に最適な性能を備えています。

また、ポンプ部は平滑でデッドボリュームの少ないチューブフラム構造を採用しており、液の滞留を抑えてコンタミ発生を防止。多様なコートプロセスに対応できるよう、1ショット内で吐出速度を任意に調整できる機能も搭載しています。